SEM-piltide pooljuhtide defektide tuvastamise põhjalik uuring SEMI-PointRendi abil
eringPooljuhtide defektide tuvastamine on integraallülituste tootmisel kriitiline protsess. Oluline on avastada kõik tootmisprotsessis esinevad defektid, et tagada lõpptoote kvaliteetne ja nõutud standarditele vastamine. Skaneeriva elektronmikroskoopia (SEM) kujutiste kasutamine defektide tuvastamiseks on muutunud üha populaarsemaks tänu nende võimele pakkuda pooljuhi pinnast üksikasjalikke pilte. Traditsiooniliste SEM-kujutise analüüsimeetodite võime defekte täpselt tuvastada on aga piiratud. Hiljuti on kasutusele võetud uus tehnika nimega SEMI-PointRendering.