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17 de enero de 2023
k-Space Associates Inc de Dexter, MI, EE. UU., que se fundó en 1992 y produce instrumentación y software de metrología de película delgada para la investigación y fabricación de dispositivos microelectrónicos, optoelectrónicos y fotovoltaicos, ha lanzado la película delgada de fluorescencia de rayos X kSA XRF herramienta de metrología, que mide el espesor de la película para materiales que son demasiado delgados para mediciones ópticas confiables.
El kSA XRF utiliza una fuente de rayos X, un detector y un software patentado para medir el espectro de emisión de rayos X, que luego se utiliza para calcular el espesor de la película en tiempo real. Mide las especies atómicas apropiadas según la fórmula de recubrimiento única del cliente y las necesidades de medición. Se ha probado que esta técnica mide capas semiconductoras y dieléctricas en paneles de vidrio, obleas y susceptores para aplicaciones en energía solar, y otros dispositivos de película delgada.
Imagen: El kSA XRF, que se puede configurar para una configuración de banco independiente o sobre un transportador para inspección en línea y control del proceso de fabricación (como se muestra aquí).
“Desarrollamos el kSA XRF mientras ayudamos a uno de nuestros clientes existentes a medir recubrimientos dieléctricos que no podían medirse con métodos ópticos tradicionales”, dice el director ejecutivo Darryl Barlett. “El XRF mide recubrimientos dieléctricos por debajo de 100 nm y puede ser utilizado por los fabricantes de paneles de vidrio, paneles solares, portadores MOCVD [deposición de vapor químico orgánico-metal] y otros productos”, agrega. “Es una opción superior y más escalable que las herramientas existentes y se instala fácilmente en las líneas transportadoras”.
El kSA XRF se puede configurar para una instalación de sobremesa independiente o sobre un transportador para la inspección en línea y el control del proceso de fabricación.
“El kSA XRF permite a los usuarios caracterizar y monitorear sus recubrimientos de película delgada durante la producción, lo que aumenta el rendimiento y reduce los costos”, señala Barlett.
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