SEMI-PointRend: Βελτιωμένη ακρίβεια και λεπτομέρεια στην ανάλυση ελαττωμάτων ημιαγωγών εικόνων SEM

Η ανάλυση ελαττωμάτων ημιαγωγών των εικόνων σάρωσης ηλεκτρονικού μικροσκοπίου (SEM) είναι ένα κρίσιμο μέρος της διαδικασίας κατασκευής ημιαγωγών. Η ικανότητα ακριβούς εντοπισμού και αναγνώρισης ελαττωμάτων είναι απαραίτητη για τη διασφάλιση της ποιότητας και της αξιοπιστίας του τελικού προϊόντος. Οι πρόσφατες εξελίξεις στη μηχανική μάθηση και την όραση υπολογιστών επέτρεψαν την ανάπτυξη ισχυρών αλγορίθμων που μπορούν να ανιχνεύουν και να ταξινομούν αυτόματα ελαττώματα σε εικόνες SEM.

Ένας τέτοιος αλγόριθμος ονομάζεται SEMI-PointRend, ο οποίος αναπτύχθηκε από ερευνητές στο Πανεπιστήμιο της Καλιφόρνια στο Μπέρκλεϋ. Αυτός ο αλγόριθμος χρησιμοποιεί έναν συνδυασμό βαθιάς μάθησης και επεξεργασίας σημείων cloud για τον ακριβή εντοπισμό και ταξινόμηση ελαττωμάτων σε εικόνες SEM. Ο αλγόριθμος είναι σε θέση να ανιχνεύει και να ταξινομεί ελαττώματα με υψηλή ακρίβεια και λεπτομέρεια, ακόμη και σε εικόνες με χαμηλή αντίθεση ή χαμηλή ανάλυση.

Ο αλγόριθμος λειτουργεί μετατρέποντας πρώτα την εικόνα SEM σε ένα νέφος σημείων, το οποίο είναι μια τρισδιάστατη αναπαράσταση της εικόνας. Στη συνέχεια, το νέφος σημείων επεξεργάζεται χρησιμοποιώντας ένα μοντέλο βαθιάς μάθησης για τον εντοπισμό και την ταξινόμηση των ελαττωμάτων. Το μοντέλο εκπαιδεύεται σε ένα μεγάλο σύνολο δεδομένων εικόνων SEM με γνωστά ελαττώματα, επιτρέποντάς του να ανιχνεύει και να ταξινομεί με ακρίβεια ακόμη και μικρά ή ανεπαίσθητα ελαττώματα.

Ο αλγόριθμος έχει δοκιμαστεί σε μια ποικιλία εικόνων SEM και έχει αποδειχθεί ότι επιτυγχάνει ακρίβεια έως και 99%. Αυτό είναι σημαντικά υψηλότερο από τις παραδοσιακές μεθόδους ανίχνευσης ελαττωμάτων, οι οποίες συνήθως έχουν ακρίβεια περίπου 80%. Επιπλέον, ο αλγόριθμος είναι σε θέση να ανιχνεύει και να ταξινομεί ελαττώματα με υψηλή λεπτομέρεια, επιτρέποντας την ακριβέστερη ανάλυση των ελαττωμάτων.

Συνολικά, το SEMI-PointRend είναι ένα ισχυρό εργαλείο για τον ακριβή εντοπισμό και την ταξινόμηση ελαττωμάτων σε εικόνες SEM. Έχει αποδειχθεί ότι επιτυγχάνει υψηλή ακρίβεια και λεπτομέρεια, καθιστώντας το ένα ανεκτίμητο εργαλείο για τους κατασκευαστές ημιαγωγών. Με την ικανότητά του να εντοπίζει γρήγορα και με ακρίβεια και να ταξινομεί ελαττώματα, μπορεί να συμβάλει στη διασφάλιση της ποιότητας και της αξιοπιστίας των προϊόντων ημιαγωγών.

• SEO Powered Content & PR Distribution. Ενισχύστε σήμερα.
• Platoblockchain. Web3 Metaverse Intelligence. Ενισχύθηκε η γνώση. Πρόσβαση εδώ.
• Πηγή: Plato Data Intelligence: PlatoAiStream