K-Space lancerer XRF Tyndfilm Metrology Tool

Genudgivet af Platon

Abonnenter: 0

17 januar 2023

k-Space Associates Inc i Dexter, MI, USA – som blev grundlagt i 1992 og producerer tyndfilms metrologisk instrumentering og software til forskning og fremstilling af mikroelektroniske, optoelektroniske og fotovoltaiske enheder – har lanceret kSA XRF røntgenfluorescens tyndfilm metrologiværktøj, som måler filmtykkelse for materialer, der er for tynde til pålidelige optiske målinger.

kSA XRF bruger en røntgenkilde, detektor og proprietær software til at måle røntgenstrålingsspektret, som derefter bruges til at beregne filmtykkelsen i realtid. Den måler den passende atomart baseret på kundens unikke belægningsformel og målebehov. Denne teknik har vist sig at måle halvleder- og dielektriske lag på glaspaneler, wafere og susceptorer til anvendelser i solenergi, el og andre tyndfilmsenheder.

kSA XRF, som kan konfigureres til en selvstændig bordopsætning eller over en transportør til in-line inspektion og produktionsproceskontrol (som vist her).

Billede: kSA XRF, som kan konfigureres til en selvstændig bordopsætning eller over en transportør til in-line inspektion og produktionsproceskontrol (som vist her).

"Vi udviklede kSA XRF, mens vi hjalp en af vores eksisterende kunder med at måle dielektriske belægninger, der ikke kunne måles ved hjælp af traditionelle optiske metoder," siger CEO Darryl Barlett. "XRF måler dielektriske belægninger under 100 nm og kan bruges af producenter af glaspaneler, solpaneler, MOCVD [metal-organisk kemisk dampaflejring] bærere og andre produkter," tilføjer han. "Det er en overlegen og mere skalerbar mulighed end eksisterende værktøjer og kan nemt installeres i transportbånd."

kSA XRF kan konfigureres til en selvstændig bordopsætning eller over en transportør til in-line inspektion og produktionsproceskontrol.

"KSA XRF giver brugerne mulighed for at karakterisere og overvåge deres tyndfilmsbelægninger under produktionen og derved øge udbyttet og reducere omkostningerne," bemærker Barlett.

tags: k-Space Associates

Besøg: www.k-space.com