KERI হাঙ্গেরির SEMILAB-এ SiC পাওয়ার সেমিকন্ডাক্টর আয়ন ইমপ্লান্টেশন মূল্যায়ন প্রযুক্তি স্থানান্তর করে

খবর: সরবরাহকারীদের

8 সেপ্টেম্বর 2023

কোরিয়া ইলেক্ট্রোটেকনোলজি রিসার্চ ইনস্টিটিউট (KERI) - যা দক্ষিণ কোরিয়ার বিজ্ঞান ও আইসিটি মন্ত্রকের ন্যাশনাল রিসার্চ কাউন্সিল অফ সায়েন্স অ্যান্ড টেকনোলজি (NST) এর অধীনে অর্থায়ন করা হয় - সিলিকন কার্বাইড (SiC) পাওয়ার সেমিকন্ডাক্টরগুলির জন্য আয়ন ইমপ্লান্টেশন এবং মূল্যায়ন প্রযুক্তি মেট্রোলজি সরঞ্জামগুলিতে স্থানান্তর করেছে বুদাপেস্ট, হাঙ্গেরির ফার্ম সেমিলাব জেডআরটি।

যদিও SiC পাওয়ার সেমিকন্ডাক্টরগুলির অনেক সুবিধা রয়েছে, উত্পাদন প্রক্রিয়াটি খুব চ্যালেঞ্জিং। পূর্বে, পদ্ধতিটি ছিল একটি উচ্চ পরিবাহী ওয়েফারের উপর একটি এপিটাক্সিয়াল স্তর গঠন করে এবং সেই অঞ্চলের মধ্য দিয়ে প্রবাহিত কারেন্টের মাধ্যমে একটি ডিভাইস তৈরি করা। যাইহোক, এই প্রক্রিয়া চলাকালীন, এপিলেয়ারের পৃষ্ঠটি রুক্ষ হয়ে যায় এবং ইলেক্ট্রন স্থানান্তরের গতি হ্রাস পায়। এপিওয়াফারের দামও বেশি, যা ব্যাপক উৎপাদনে বড় বাধা।

এই সমস্যাটি সমাধানের জন্য, KERI ওয়েফারকে পরিবাহী করার জন্য একটি এপিলেয়ার ছাড়াই একটি আধা-অন্তরক SiC ওয়েফারে আয়ন স্থাপনের একটি পদ্ধতি ব্যবহার করেছে।

যেহেতু SiC উপাদানগুলি শক্ত, তাই তাদের খুব উচ্চ-শক্তি আয়ন ইমপ্লান্টেশনের প্রয়োজন হয় যার পরে আয়নগুলিকে সক্রিয় করার জন্য উচ্চ-তাপমাত্রার তাপ চিকিত্সা করা হয়, এটি বাস্তবায়ন করা একটি কঠিন প্রযুক্তি করে তোলে। যাইহোক, KERI বলে যে, SiC-তে নিবেদিত আয়ন ইমপ্লান্টেশন সরঞ্জাম পরিচালনায় তার 10 বছরের অভিজ্ঞতার ভিত্তিতে, এটি প্রাসঙ্গিক প্রযুক্তি স্থাপনে সফল হয়েছে।

ছবি: বাম থেকে দ্বিতীয়, ডঃ বাহং উক, কেআরআই-এর পাওয়ার সেমিকন্ডাক্টর রিসার্চ বিভাগের নির্বাহী পরিচালক; বাম থেকে তৃতীয়, পার্ক সু-ইয়ং, সেমিলাব কোরিয়া কো লিমিটেডের সিইও।

"আয়ন ইমপ্লান্টেশন প্রযুক্তি উল্লেখযোগ্যভাবে সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসে বর্তমান প্রবাহ বৃদ্ধি করে এবং ব্যয়বহুল এপিওয়াফার প্রতিস্থাপন করে প্রক্রিয়া খরচ কমাতে পারে," বলেছেন ডাঃ কিম হায়ং উ, ডিরেক্টর, অ্যাডভান্সড সেমিকন্ডাক্টর রিসার্চ সেন্টার, KERI৷ "এটি একটি প্রযুক্তি যা উচ্চ-পারফরম্যান্সের SiC পাওয়ার সেমিকন্ডাক্টরগুলির মূল্য প্রতিযোগিতা বাড়ায় এবং ব্যাপক উৎপাদনে অবদান রাখে।"

প্রযুক্তিটি সম্প্রতি SEMILAB-তে স্থানান্তরিত হয়েছে, যার হাঙ্গেরি এবং মার্কিন যুক্তরাষ্ট্রে উৎপাদন কারখানা রয়েছে। 30 বছরের ইতিহাসের সাথে, SEMILAB মাঝারি আকারের নির্ভুলতা পরিমাপ সরঞ্জাম এবং উপাদান চরিত্রায়ন সরঞ্জামগুলির জন্য পেটেন্টের মালিক, এবং সেমিকন্ডাক্টর বৈদ্যুতিক পরামিতি মূল্যায়ন সিস্টেমের জন্য প্রযুক্তির অধিকারী৷

ছবি: আধা-অন্তরক SiC ওয়েফার।

সংস্থাগুলি আশা করে যে, প্রযুক্তি স্থানান্তরের মাধ্যমে, তারা উচ্চ-মানের SiC মানসম্মত করতে সক্ষম হবে। SEMILAB SiC পাওয়ার সেমিকন্ডাক্টরগুলির জন্য আয়ন ইমপ্লান্টেশন প্রক্রিয়া মূল্যায়নের জন্য বিশেষ সরঞ্জামগুলি বিকাশের জন্য KERI-এর প্রযুক্তি ব্যবহার করার পরিকল্পনা করেছে। "বিশেষ যন্ত্রপাতির বিকাশের মাধ্যমে, আমরা ইমপ্লান্ট সিস্টেমের তাত্ক্ষণিক, সঠিক এবং কম খরচে উৎপাদন নিয়ন্ত্রণের জন্য SiC ওয়েফারগুলিতে ইমপ্লান্ট প্রক্রিয়াগুলির ইন-লাইন পর্যবেক্ষণ এবং প্রাক-অ্যানিল ইমপ্লান্টের জন্য ইন-লাইন পর্যবেক্ষণ করতে সক্ষম হব," বলেছেন পার্ক সু-ইয়ং, সেমিলাব কোরিয়ার প্রেসিডেন্ট। "চমত্কার অভিন্নতা এবং প্রজননযোগ্যতার সাথে একটি উচ্চ-মানের আয়ন ইমপ্লান্টেশন ভর-উৎপাদন প্রক্রিয়া স্থিরভাবে সুরক্ষিত করার জন্য এটি একটি দুর্দান্ত ভিত্তি হবে।"

ট্যাগ্স: SiC ডিভাইস পাওয়ার ইলেকট্রনিক্স আয়ন ইমপ্লান্টার

যান: www.semilab.com

যান: www.keri.re.kr/html/en

• এসইও চালিত বিষয়বস্তু এবং পিআর বিতরণ। আজই পরিবর্ধিত পান।
• PlatoData.Network উল্লম্ব জেনারেটিভ Ai. নিজেকে ক্ষমতায়িত করুন। এখানে প্রবেশ করুন.
• প্লেটোএআইস্ট্রিম। Web3 ইন্টেলিজেন্স। জ্ঞান প্রসারিত. এখানে প্রবেশ করুন.
• প্লেটোইএসজি। মোটরগাড়ি / ইভি, কার্বন, ক্লিনটেক, শক্তি, পরিবেশ সৌর, বর্জ্য ব্যবস্থাপনা. এখানে প্রবেশ করুন.
• প্লেটো হেলথ। বায়োটেক এবং ক্লিনিক্যাল ট্রায়াল ইন্টেলিজেন্স। এখানে প্রবেশ করুন.
• চার্টপ্রাইম। ChartPrime এর সাথে আপনার ট্রেডিং গেমটি উন্নত করুন। এখানে প্রবেশ করুন.
• ব্লকঅফসেট। পরিবেশগত অফসেট মালিকানার আধুনিকীকরণ। এখানে প্রবেশ করুন.
• উত্স: https://www.semiconductor-today.com/news_items/2023/sep/keri-semilabzrt-080923.shtml