توفر عملية إزالة الترابط الضوئية عملية إزالة ترابط فعالة من حيث التكلفة وعالية الإنتاجية

نظرًا لأن التقنيات الناشئة تتطلب شرائح أجهزة رفيعة للغاية، فإن عمليات فك الارتباط التقليدية يمكن أن تشكل بعض التحديات. إن عملية إزالة الترابط الضوئية هي عملية فك ترابط مبتكرة تستخدم حاملًا مطليًا بطبقة إطلاق معدنية غير عضوية تساعد في إطلاق الرقاقة الرقيقة من الركيزة الحاملة بدون قوة ولا ضرر على الرقاقة الرقيقة عند تنشيط طبقة الإطلاق بالضوء. تعد طريقة فك الارتباط هذه بديلاً للعمليات التي تتطلب معدات أكثر تكلفة وتعاني أيضًا من ارتفاع حالات الضرر. بعد تقييم بعض عمليات فك الارتباط التقليدية بالمقارنة مع فك الارتباط الفوتوني، تشمل بعض المزايا الرئيسية إعادة استخدام الناقل، وانخفاض تكلفة التشغيل، وتقليل معدات الصيانة، وزيادة الإنتاجية.

هناك العديد من الطرق المختلفة لفصل الرقاقة الرقيقة عن ركيزتها الحاملة المؤقتة، والمعروفة أيضًا باسم إزالة الترابط. أحد التحديات الحاسمة في هذه العملية هو تقليل الأضرار التي تلحق بالرقائق الرقيقة. نظرًا لأن كل طريقة لها آلية مختلفة لفك الارتباط، فمن المهم مراعاة التطبيق، وخصائص المواد للرقاقة المخففة، والعمليات النهائية. الطرق الخمس الأكثر شيوعاً لفك الترابط هي الشريحة الحرارية، وفك الترابط الميكانيكي، وفك الترابط الكيميائي، وفك الترابط بالليزر، وفك الترابط الضوئي.

الشريحة الحرارية

الوصف: يتضمن فك الترابط الحراري استخدام الحرارة لتليين الرابطة اللاصقة بين الرقاقة الرقيقة والركيزة الحاملة.

آلية: تؤدي درجات الحرارة المرتفعة إلى ذوبان المادة اللاصقة أو تحللها، مما يسهل فصل الرقاقة الرقيقة.

التطبيقات: يعد إلغاء الترابط الحراري فعالاً بالنسبة للمواد اللاصقة التي تستجيب بشكل جيد للتغيرات في درجات الحرارة والتطبيقات التي لا تتطلب ركائز جهاز فائقة النحافة.

فك الارتباط الميكانيكي

الوصف: تتضمن هذه العملية استخدام القوة الميكانيكية لفصل الرقاقة الرقيقة عن الركيزة الحاملة.

آلية: قد تتضمن طرق فك الارتباط الميكانيكية استخدام شفرات ميكانيكية للفصل الأولي للزوج المرتبط لفصل الرقاقة الرقيقة فعليًا.

التطبيقات: يعتبر فك الارتباط الميكانيكي مناسبًا للرقائق التي يمكنها تحمل الحد الأدنى من الضغط البدني دون حدوث ضرر.

التفكيك الكيميائي

الوصف: في عملية إزالة الترابط الكيميائي، يتم استخدام المذيبات لإضعاف الرابطة اللاصقة بين الرقاقة الرقيقة والركيزة الحاملة.

آلية: تعمل المواد الكيميائية على تحلل المادة اللاصقة أو إحداث تفاعل يضعف الرابطة، مما يسهل فصل الرقاقة الرقيقة.

التطبيقات: يتم استخدام إزالة الترابط الكيميائي بشكل شائع عندما لا تكون رقائق الجهاز رقيقة جدًا ويمكن معالجتها بطريقة دفعية لتحريرها.

إزالة الترابط بالليزر

الوصف: يستخدم فك الترابط بالليزر طاقة الليزر لإزالة الرابطة اللاصقة بشكل انتقائي بين الرقاقة الرقيقة والركيزة الحاملة.

آلية: يركز الليزر على مناطق محددة، ويولد طاقة موضعية لتسهيل عملية فك الارتباط.

التطبيقات: يعد debonding بالليزر طريقة debonding مفضلة للتطبيقات حيث يتم تخفيف الركائز إلى أقل من 20 ميكرومتر وتستخدم عملية درجة حرارة عالية جدًا في اتجاه مجرى النهر حيث يكون الالتصاق والتحكم في TTV أمرًا مهمًا.

التفكيك الضوئي

الوصف: يستخدم فك الترابط الضوئي مصدر ضوء عريض النطاق نابض لفصل أزواج الرقاقات المرتبطة مؤقتًا باستخدام طبقة ماصة للضوء كطبقة إطلاق معدنية غير عضوية.

آلية: تولد المصابيح الكهربائية نبضات ضوئية عالية الكثافة على فترات زمنية قصيرة لتسهيل عملية فك الترابط.

التطبيقات: إن عملية إلغاء الترابط الضوئية متوافقة مع رقائق الأجهزة الرقيقة التي يقل حجمها عن 20 ميكرومتر. غالبًا ما يكون ذلك مرغوبًا بالنسبة للأزواج المرتبطة التي قد تحتوي على بعض الانحناء/الالتواء الطفيف دون التسبب في عدم كفاية أداء فك الترابط نظرًا لتحملها العالي للتغيرات في المسافة البؤرية لطبقة التحرير. لا تشكل طريقة الإصدار هذه أيضًا أي تهديد أو ضرر للجهاز، مما يجعلها خيارًا أكثر تنافسية مقارنةً بتقنية إزالة الترابط بالليزر، كما أنها تتميز بإنتاجية أسرع وتكلفة ملكية أقل.

الفوائد الرئيسية للdebonding الضوئية

من بين طرق إزالة الترابط الخمس، أثبتت إزالة الترابط الضوئية أنها الأكثر ملاءمة في العمليات التي تتطلب الدقة، مثل ترقق الرقاقة وتقطيعها. هناك العديد من الفوائد التي تثبت إزالة الترابط الضوئي كطريقة متفوقة في إزالة الترابط.

انخفاض تكلفة الملكية

وبما أن المصباح اليدوي أكثر اقتصادا من الليزر، فإن التكلفة الأولية لملكية إزالة الترابط الضوئي أقل من إزالة الترابط بالليزر. بالإضافة إلى ذلك، فإن إمكانية إعادة استخدام الحامل الزجاجي تعوض تكاليف الناقلات ذات الاستخدام الواحد. يمكن تخفيض تكلفة الملكية بنسبة تزيد عن 30% باستخدام تقنية إزالة الترابط الضوئية مقارنة بطرق إزالة الترابط الأخرى.

الدقة والتحكم

غالبًا ما يتضمن فك الارتباط الضوئي استخدام أطوال موجية محددة من الضوء لاستهداف وكسر الروابط عند واجهة المواد. يسمح هذا النهج المستهدف بالتحكم الدقيق في عملية فك الارتباط، مما قد يؤدي إلى تقليل الأضرار التي تلحق بالمواد الحساسة أو الهشة.

ناجح على الرقائق المشوهة

إذا كانت الرقاقات مقعرة أو محدبة، فإن عملية فك الترابط الضوئية ما زالت تثبت نجاحها في عملية فك الترابط نظرًا لأن الانبعاث موحد حتى 10 مم من رأس الفلاش.

انخفاض الضرر الحراري

تولد بعض عمليات إزالة الترابط بالليزر حرارة كبيرة، مما قد يسبب ضررًا حراريًا للمواد التي تتم معالجتها. قد يستخدم فك الارتباط الضوئي الأطوال الموجية أو الطاقات التي تؤدي إلى توليد حرارة أقل، وبالتالي تقليل خطر إتلاف المكونات.

التوافق المادي

قد تستجيب بعض المواد بشكل أفضل لأطوال موجية معينة من الضوء. يمكن تحسين تقنيات فك الارتباط الضوئية عن طريق اختيار الأطوال الموجية الأكثر ملاءمة للمواد المعنية، وتحسين الكفاءة، وتقليل الضرر.

إزالة الارتباط الانتقائي

يمكن ضبط التقنيات الضوئية بدقة لاستهداف طبقات أو واجهات محددة في مجموعة المواد، مما يسمح بالتفكيك الانتقائي دون التأثير على الطبقات أو المكونات المجاورة الأخرى.

كفاءة العملية

اعتمادًا على التطبيق، قد توفر طرق فك الارتباط الضوئية أوقات معالجة أسرع أو إنتاجية أعلى مقارنة بتقنيات فك الارتباط التقليدية بالليزر.

الاعتبار المادي لعملية فك الترابط الضوئية الناجحة

يعد فك الارتباط الضوئي خيارًا مثاليًا لمعالجات الرقاقات التي تسعى إلى تقليل التكلفة، مع تحقيق عملية إزالة ربط نظيفة. إن قابلية التوسع في أحجام الرقاقات، ومقاومتها للركائز المشوهة، وقابلية الضبط تجعلها متعددة الاستخدامات بشكل استثنائي. الاعتبار الرئيسي عند اختيار إجراء عملية debond الضوئية هو مراعاة احتياجاتك المادية. يجب عليك التأكد من أن المواد الخاصة بك تتمتع بخصائص لاصقة متوافقة وطبقة محسنة لامتصاص الضوء. على سبيل المثال، مادة برويربوند 305 كمادة لاصقة تمكن من التخفيف إلى 50 ميكرومتر، بينما تتطلب فقط عملية تنظيف منخفضة المخلفات مما يتيح إعادة استخدام الناقل.

من المهم ملاحظة أن تفوق إحدى الطرق على الأخرى يمكن أن يعتمد بشكل كبير على التطبيق المحدد، والمواد المستخدمة، والنتيجة المرجوة. على الرغم من أن هذا الدليل بمثابة نظرة عامة عالية المستوى، فإن الحل الأفضل يأخذ في الاعتبار متطلبات الدقة وخصائص المواد واعتبارات التكلفة والكفاءة الإجمالية للعملية لتطبيق معين.

• محتوى مدعوم من تحسين محركات البحث وتوزيع العلاقات العامة. تضخيم اليوم.
• PlatoData.Network Vertical Generative Ai. تمكين نفسك. الوصول هنا.
• أفلاطونايستريم. ذكاء Web3. تضخيم المعرفة. الوصول هنا.
• أفلاطون كربون، كلينتك ، الطاقة، بيئة، شمسي، إدارة المخلفات. الوصول هنا.
• أفلاطون هيلث. التكنولوجيا الحيوية وذكاء التجارب السريرية. الوصول هنا.
• المصدر https://semiengineering.com/photonic-debonding-provides-a-cost-efficient-high-throughput-debond-process/