تقوم KERI بنقل تقنية تقييم زرع أيونات أشباه موصلات الطاقة من كربيد السيليكون إلى SEMILAB في هنغاريا

الأخبار: الموردون

8 سبتمبر 2023

قام المعهد الكوري لأبحاث التكنولوجيا الكهربائية (KERI) - الذي يتم تمويله في إطار مجلس البحوث الوطني للعلوم والتكنولوجيا (NST) التابع لوزارة العلوم وتكنولوجيا المعلومات والاتصالات في كوريا الجنوبية - بنقل تكنولوجيا زرع وتقييم الأيونات لأشباه موصلات الطاقة من كربيد السيليكون (SiC) إلى معدات القياس شركة SEMILAB ZRT في بودابست، المجر.

في حين أن أشباه موصلات الطاقة SiC تتمتع بالعديد من المزايا، إلا أن عملية التصنيع صعبة للغاية. في السابق، كانت الطريقة تتمثل في إنشاء جهاز عن طريق تشكيل طبقة فوقية على رقاقة عالية التوصيل ويتدفق التيار عبر تلك المنطقة. ومع ذلك، خلال هذه العملية، يصبح سطح الطبقة الخارجية خشنًا وتقل سرعة نقل الإلكترون. كما أن سعر رقاقة Epiwafer نفسها مرتفع أيضًا، وهو ما يمثل عائقًا كبيرًا أمام الإنتاج الضخم.

لحل هذه المشكلة، استخدمت KERI طريقة لزرع الأيونات في رقاقة SiC شبه عازلة بدون طبقة Epilayer لجعل الرقاقة موصلة.

نظرًا لأن مواد SiC صلبة، فإنها تتطلب زرع أيونات عالية الطاقة جدًا تليها معالجة حرارية عالية الحرارة لتنشيط الأيونات، مما يجعل من الصعب تنفيذها. ومع ذلك، تقول KERI إنها، استنادًا إلى خبرتها البالغة 10 سنوات في تشغيل معدات زرع الأيونات المخصصة لـ SiC، نجحت في إنشاء التقنيات ذات الصلة.

الصورة: الثاني من اليسار، الدكتور باهنج ووك، المدير التنفيذي لقسم أبحاث أشباه موصلات الطاقة في KERI؛ الثالث من اليسار، بارك سو يونج، الرئيس التنفيذي لشركة Semilab Korea Co Ltd.

يقول الدكتور كيم هيونج وو، مدير مركز أبحاث أشباه الموصلات المتقدمة بمعهد KERI: "يمكن لتقنية زرع الأيونات أن تقلل بشكل كبير من تكاليف العملية عن طريق زيادة تدفق التيار في أجهزة أشباه الموصلات واستبدال رقائق Epiwafers باهظة الثمن". "هذه هي التكنولوجيا التي تزيد من القدرة التنافسية السعرية لأشباه موصلات الطاقة عالية الأداء من SiC وتساهم بشكل كبير في الإنتاج الضخم."

وقد تم نقل التكنولوجيا مؤخرًا إلى شركة SEMILAB، التي تمتلك مصانع في المجر والولايات المتحدة الأمريكية. مع تاريخ يمتد إلى 30 عامًا، تمتلك SEMILAB براءات اختراع لمعدات قياس دقيقة متوسطة الحجم ومعدات توصيف المواد، وتمتلك تكنولوجيا لأنظمة تقييم المعلمات الكهربائية لأشباه الموصلات.

الصورة: رقاقة SiC شبه عازلة.

وتتوقع الشركات أنها، من خلال نقل التكنولوجيا، سوف تكون قادرة على توحيد معايير SiC عالية الجودة. وتخطط SEMILAB لاستخدام تقنية KERI لتطوير معدات متخصصة لتقييم عملية زرع الأيونات لأشباه موصلات الطاقة من كربيد السيليكون. يقول: "من خلال تطوير المعدات المتخصصة، سنكون قادرين على إحراز تقدم في المراقبة المباشرة لعمليات الزرع على رقائق SiC للتحكم الفوري والدقيق ومنخفض التكلفة في إنتاج أنظمة الزرع والمراقبة المباشرة للزرعة قبل التلدين". بارك سو يونج، رئيس SEMILAB كوريا. "سيكون هذا أساسًا رائعًا لتأمين عملية إنتاج ضخمة لزراعة الأيونات عالية الجودة بشكل ثابت مع تجانس وقابلية استنساخ ممتازة."

الوسوم (تاج): أجهزة SiC إلكترونيات الطاقة زرع الأيونات

زيارة الموقع: www.semilab.com

زيارة الموقع: www.keri.re.kr/html/en

• محتوى مدعوم من تحسين محركات البحث وتوزيع العلاقات العامة. تضخيم اليوم.
• PlatoData.Network Vertical Generative Ai. تمكين نفسك. الوصول هنا.
• أفلاطونايستريم. ذكاء Web3. تضخيم المعرفة. الوصول هنا.
• أفلاطون السيارات / المركبات الكهربائية ، كربون، كلينتك ، الطاقة، بيئة، شمسي، إدارة المخلفات. الوصول هنا.
• أفلاطون هيلث. التكنولوجيا الحيوية وذكاء التجارب السريرية. الوصول هنا.
• تشارت بريم. ارفع مستوى لعبة التداول الخاصة بك مع ChartPrime. الوصول هنا.
• BlockOffsets. تحديث ملكية الأوفست البيئية. الوصول هنا.
• المصدر https://www.semiconductor-today.com/news_items/2023/sep/keri-semilabzrt-080923.shtml