نقش القناع المنحني لزيادة قدرة الطباعة الحجرية إلى الحد الأقصى

أعاد نشره أفلاطون

المتابعون: 0

لطالما كانت الأقنعة جزءًا أساسيًا من عملية الطباعة الحجرية في صناعة أشباه الموصلات. مع أصغر الميزات المطبوعة التي تكون بالفعل طول موجة فرعية لكل من حالات DUV و EUV عند حافة النزيف ، تلعب أنماط القناع دورًا أكثر أهمية من أي وقت مضى. علاوة على ذلك ، في حالة الطباعة الحجرية EUV ، تعد الإنتاجية مصدر قلق ، لذا يجب تعظيم كفاءة إسقاط الضوء من القناع إلى الرقاقة.

تُعرف معالم مانهاتن التقليدية (التي سُميت على اسم أفق مانهاتن) بزواياها الحادة، والتي تشتت الضوء بشكل طبيعي خارج الفتحة الرقمية للنظام البصري. من أجل تقليل هذا التشتت، يمكن للمرء أن يلجأ إلى تقنية الطباعة الحجرية العكسية (ILT)، والتي ستسمح لحواف الميزة المنحنية على القناع باستبدال الزوايا الحادة. لإعطاء أبسط مثال حيث قد يكون ذلك مفيدًا، ضع في اعتبارك الصورة البصرية المستهدفة (أو الصورة الجوية) عند الرقاقة في الشكل 1، والتي من المتوقع أن تكون من مصفوفة اتصال كثيفة ذات إضاءة رباعية أو إضاءة QUASAR، مما يؤدي إلى نمط تداخل رباعي الحزم .

نمط قناع منحني 1

الشكل 1. صورة تلامس كثيفة من إضاءة رباعية الأقطاب أو كواسار ، مما يؤدي إلى نمط تداخل رباعي الحزم.

أربعة حزم متداخلة لا يمكن أن تنتج زوايا حادة عند الرقاقة ، ولكن زاوية مستديرة نوعًا ما (مشتقة من المصطلحات الجيبية). ستؤدي الزاوية الحادة على القناع إلى نفس الاستدارة ، ولكن مع وصول ضوء أقل إلى الرقاقة ؛ تبعثر جزء كبير من الضوء. يمكن تحقيق نقل أكثر كفاءة للضوء إلى الرقاقة إذا كانت ميزة القناع لها حافة منحنية بنفس الاستدارة ، كما في الشكل 2.

ميزة مستديرة E الشكل 2

الشكل 2. ميزة القناع تظهر حافة منحنية تشبه الصورة الموجودة في الرقاقة الموضحة في الشكل 1. يجب أن تكون استدارة الحافة هي نفسها بشكل مثالي.

يمكن تقليل كمية الضوء المنتشر إلى 0 بشكل مثالي مع حواف منحنية. ومع ذلك ، على الرغم من ميزة الحواف المنحنية ، فقد كان من الصعب صنع أقنعة بهذه الميزات ، حيث تتطلب الحواف المنحنية مزيدًا من معلومات كاتب القناع ليتم تخزينها مقارنة بميزات مانهاتن ، مما يقلل من إنتاجية النظام من وقت المعالجة الإضافي. يمكن أن يكون حجم البيانات المطلوب لتمثيل الأشكال المنحنية ترتيبًا من حيث الحجم أكبر من أشكال مانهاتن المقابلة. يقوم كاتبو القناع متعدد الحزم ، الذين أصبحوا متاحين مؤخرًا فقط ، بتعويض فقد الإنتاجية.

يجب أيضًا تحديث توليف القناع (تصميم الميزات الموجودة على القناع) وإعداد بيانات القناع (تحويل الميزات المذكورة إلى البيانات التي يستخدمها كاتب القناع مباشرةً) لاستيعاب الميزات المنحنية. وصفت سينوبسيس مؤخرًا نتائج ترقيتها المنحنية. هناك ميزتان مميزتان لتركيب القناع هما "التعلم الآلي" و "Parametric Curve OPC". يستخدم التعلم الآلي لتدريب نموذج التعلم العميق المستمر على مقاطع مختارة. يمثل المنحنى البارامترى OPC ناتج الطبقة المنحنية كتسلسل من أشكال المنحنى البارامترى ، من أجل تقليل حجم البيانات. يتألف إعداد بيانات القناع من أربعة أجزاء: تصحيح أخطاء القناع (MEC) ، ومطابقة الأنماط ، وفحص قاعدة القناع (MRC) ، والكسر. من المفترض أن تعوض MEC الأخطاء من عملية كتابة القناع ، مثل تشتت الإلكترون من طبقة EUV متعددة الطبقات. تبحث عمليات مطابقة الأنماط عن الأشكال المتطابقة وتصبح أكثر تعقيدًا دون قيود على حواف 90 درجة و 45 درجة فقط. وبالمثل ، يحتاج مركز موارد المهاجرين إلى قواعد جديدة لاكتشاف الانتهاكات التي تنطوي على أشكال منحنية. أخيرًا ، لا يحتاج الكسر إلى الحفاظ على الحواف المنحنية فحسب ، بل يحتاج أيضًا إلى دعم مؤلفي القناع متعدد الحزم.

تتضمن Synopsys كل هذه الميزات في نظام معالجة البيانات كامل الرقاقة المنحني ، والذي تم وصفه بالكامل من المستند التعريفي التمهيدي هنا: https://www.synopsys.com/silicon/resources/whitepapers/curvilinear_mask_patterning.html.